塵埃粒子計(jì)數(shù)器是一種在潔凈領(lǐng)域應(yīng)用廣泛的重要儀器,主要用于評(píng)定潔凈室潔凈度等級(jí),還可用來(lái)檢測(cè)過(guò)濾器的過(guò)濾效率、潔凈織物的發(fā)塵量。使用的行業(yè)包含電子廠、藥廠、醫(yī)療器械廠以及檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室等等。塵埃粒子計(jì)數(shù)器是利用光的散射原理對(duì)空氣中的塵埃粒子數(shù)目和粒徑進(jìn)行計(jì)量,工作原理(圖1):來(lái)自光源的光線被透視鏡組聚焦于檢測(cè)區(qū)域,塵埃粒子計(jì)數(shù)器通過(guò)采樣泵使采樣空氣通過(guò)該區(qū)域。當(dāng)一個(gè)塵埃粒子(簡(jiǎn)稱粒子)通過(guò)時(shí),便把入射光散射一次,產(chǎn)生一個(gè)光脈沖信號(hào),經(jīng)過(guò)放大、甄別,篩選出需要的信號(hào),再通過(guò)計(jì)數(shù)系統(tǒng)顯示出來(lái),電脈沖信號(hào)的高度反映粒子的大小,信號(hào)的數(shù)量反映了粒子的個(gè)數(shù)。主要關(guān)注的技術(shù)指標(biāo)就是粒子的大小和個(gè)數(shù)。
塵埃粒子計(jì)數(shù)器是國(guó)家規(guī)定的計(jì)量器具,需按計(jì)量檢定規(guī)程每年定期校準(zhǔn)。因?yàn)閴m埃粒子計(jì)數(shù)器在使用一段時(shí)間后,其光學(xué)系統(tǒng)及檢測(cè)系統(tǒng)都會(huì)發(fā)生變化,如光源老化、發(fā)光效率降低或聚焦錯(cuò)位、透鏡被污染,從而使整機(jī)的轉(zhuǎn)換靈敏度變化。塵埃粒子計(jì)數(shù)器的校準(zhǔn),就是對(duì)儀器各方面進(jìn)行調(diào)整,以獲得最佳工作狀態(tài)。
現(xiàn)階段常見(jiàn)的校準(zhǔn)塵埃粒子計(jì)數(shù)器的方法是利用兩類不同的塵埃粒子計(jì)數(shù)器的比值進(jìn)行控制,即將最小可測(cè)粒徑小于0.2微米的儀器稱為A類儀器,其余的均為B類儀器。
在進(jìn)行校準(zhǔn)的時(shí)候,需要將A類儀器作為一個(gè)標(biāo)準(zhǔn),從而通過(guò)計(jì)算得到B類計(jì)數(shù)器的技術(shù)效率,但是這種方式有一個(gè)嚴(yán)重的弊端,即A類塵埃粒子計(jì)數(shù)器無(wú)法被校準(zhǔn),只能默認(rèn)其為準(zhǔn)確的。
常用的是2009年修訂的《塵埃粒子計(jì)數(shù)器性能實(shí)驗(yàn)方法》,利用計(jì)數(shù)效率、粒子相應(yīng)電壓及比較法進(jìn)行校準(zhǔn),但是對(duì)于塵埃粒子計(jì)數(shù)器的準(zhǔn)確性沒(méi)有做出任何規(guī)定,又沒(méi)有對(duì)該技術(shù)參數(shù)的檢測(cè)方法提出任何建議,而準(zhǔn)確性恰恰是塵埃粒子計(jì)數(shù)器的根本計(jì)量特征。